深圳市中图仪器股份有限公司

性能特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2.应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3软件界面友好

① 使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

产品功能：

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。

性能参数：

     系统性能

2 测量方式：单频

2 稳频精度：0.05ppm

2 动态采集频率：50 kHz

2 预热时间：5-10分钟

2 工作温度范围：0~40℃

2 环境温度范围：0~40℃

2 存储温度范围：-20℃~70℃

     环境补偿示值误差

2 空气温度传感器：?0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃

2 材料温度传感器：?0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃

2 空气湿度传感器：?6% (0-95%)

2 大气压力传感器：?1mBar (650-1150mbar)

     线性测量

2 测量距离：0-40m

2 测量精度：0.5ppm (0-40℃)

2 测量分辨率：1nm

2 测量速度：4m/sec

     角度测量

2 轴向量程：0-15m

2 测量范围：?10?

2 测量精度：?0.6%R?0.5?0.1Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2 测量分辨率：0.1μm/m

     直线度测量

2 轴向量程：0.1-4.0 m

2 测量范围：?2.5 mm

2 测量精度：?0.5% R?0.5?0.15M2μm（M为光学镜移动距离，单位：m）

2 测量分辨率：0.01μm

     垂直度测量

2 测量范围：?3/M mm/m

2 测量精度：?0.5% R?2.5?0.8Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2 测量分辨率：0.01μm/m

     平面度测量

2 轴向量程：0-15 m

2 测量范围：?1.5 mm

2 测量精度：?0.6% R?0.02 M2μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2 测量分辨率：0.1μm

     回转轴分度精度测量

2 角度测量范围：0-360?

2 精密转台角度增量：5?

2 精密转台分度精度：?1秒

2 精密转台重复性：0.2秒